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关于臭氧O3的精密计量计量
2021-03-10半导体、太阳能等行业会用到臭氧O3来做硅片的清洗，但是O3的不稳定性，常常造成流量控制器的损伤。Lintec采用独有质量流量方式的传感技术，其原理利用环境温度传感器（Rt）来测量环境温度。 Ru / Rb流量传感器在Rt传感器测得的环境温度...