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VU3000系列
无需的载气直接汽化器
对于无载气工艺条件要求而言。采用高温MFC控制汽化流量烘焙汽化方式,具有不适合大流量汽化的弱点。VU3000系列采用直接方式汽,实现了无载气汽化,TEOS汽化量可达到5g/min(538L/min),体积小、更方便客户集成。


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无载气设计

采用滤网实现热扩散


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适合微小流量汽化

TEOS的汽化量可达5g/min


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高度集成

体积小、维护方便


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阀门接近构造

阀门紧邻加热腔设计

不断追求品质

CONSTANT PURSUIT OF QUALITY



射频、中频、直流电源
等离子应用
面向半导体、太阳能电池研发的系列电源,高品质适应国产化、智能制造的需求...
金属波纹管泵
低漏率、长寿命、无供油...
液体汽化装置
最高汽化温度300°C...
高级MFC流量控制器
压力不敏感型,流量不受压力波动影响...
等离子分析仪器
离子浓度场分析、射频异常监控...

最新信息

News & information



突破瓶颈:应用材料公司解决2D尺寸继续微缩的技术难题

2020-08-11
应 | 新闻:突破瓶颈:应用材料公司解决2D尺寸继续微缩的技术难题原创 应用材料公司 应用材料公司 7月21日应·新闻应·新闻 | 为您及时推送应用材料公司全球和中国最新新闻动态。在SEMICON West期间,应用材料公司宣布推出一项新技...

中兴通讯:7nm芯片已实现5G商用

2020-06-23
中兴通讯:7nm芯片已实现5G商用SIIP SEMI产业投资平台 5天前6月17日,中兴通讯在互动平台表示,公司具备芯片设计和开发能力,7nm芯片规模量产,已在全球5G规模部署中实现商用,5nm芯片正在技术导入。在5G发牌一周年线上峰会上,...

三安光电 160亿加码第三代半导体

2020-06-23
三安光电 160亿加码第三代半导体上海证券报 SEMI 5天前三安光电披露,6月15日,公司与长沙高新技术产业开发区管理委员会签署《项目投资建设合同》,公司拟在长沙成立子公司投资建设第三代半导体产业园项目,投资总额160亿元。三安光电是国内...

国产半导体装备再破零!

2020-06-23
国产半导体装备再破零!点击关注☞ 今日半导体 4天前来源电科装备6月18日,从电科装备旗下烁科中科信公司传来喜讯,公司研发的12英寸中束流离子注入机顺利发往某集成电路大产线,这台由客户直接采购的设备如期交付,标志着公司国产离子注入机市场化进...

Lintec 出展SEMICON China/FPD China

2020-06-23
Lintec 出展SEMICON China/FPD China 展位:E1126 SEMI中国|来源:SEMI中国浏览次数:1592发布时间:2020年3月30日    展位号:E1126摘要:受新型冠状病毒疫情爆发的影响,由...

EtherCAT功能原理

2020-06-23
EtherCAT技术协会现向所有感兴趣的用户提供更多的视频资源。最新的技术视频资源每条仅需两分钟观看时间即可帮助您了解EtherCAT技术的各种优势,点击视频详情即刻体验这一大波的干货吧!B站同步更新,欢迎来粉。01EtherCAT功能原理...
流体控制领域专业供应商
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