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█ 气体流量控制器 / Mass Flow Controller
FC-R7700系列
氟橡胶密封、模拟控制
FC-R7800系列
金属密封、模拟控制
FC-PAR7700系列
橡胶密封、RS-485控制
MC-70系列
金属密封、RS-485控制 多量程
FC-PAR7800系列
金属密封 RS-485控制 多气体多量程
MC-3000S系列 低压差
金属密封、RS-485 控制
HG200系列 压力不敏感型
金属密封:Ether-Cat& DeviceNet
RS-485、多气体多量程
MC-5000C系列
金属密封:Ether-Cat通讯
MC-10C系列
橡胶密封:RS-485通讯、模拟0-5V
多气体多量程
FC-PAR7800HT系列 高温
密封材质:金属密封
最高温度:80°C
MC-3000L系列 高温
密封材质:金属密封
最高温度:80~120°C
SFC-1600系列 高温
密封材质:金属密封
最高温度:120~150°C
█ 液体流量控制器 / Liquid Flow Controller
LC-3000L系列
控制模式:RS-485 & 0-5VDC
LM-3000系列流量计
输出信号:RS-485 & 0-5V
AM-3000系列 药液用
接液部全氟构造 RS-485通讯
液体流量控制阀
压电阀、金属密封 搭配LM使用
█ 液体蒸发装置 / Liquid Vaporizer
烘焙式汽化装置
鼓泡式汽化装置
VU-206
TEOS汽化量:4g/min
H2O汽化量: 0.5g/min
最高汽化温度:160°C
VU-430A
TEOS汽化量:10g/min
H2O汽化量: 1.0g/min
最高汽化温度:200°C
VU-450/550
TEOS汽化量:20g/min
H2O汽化量: 5g/min
最高汽化温度:200/300°C
VU-920/912/914
H2O汽化量:5/7/30g/min
最高汽化温度:300/200/200°C
█ 流量设定器和热交换 / Peripheral Equipment & Heat Exchange
流量设定器
不锈钢罐加工 电解抛光
气体热交换器
伴热管