自然界的基本物质通常表现为：固态、液态
和气态它们根据压力温度变化可以相互转换。
固态、液态通过改变压力温度的方式转为气
态的过程称之为汽化。
物质的状态形式取决于所处温度和压力环境当温
度高时，将液体蒸发为气体的力即蒸汽压力升高而，当温度低时，蒸汽压力降低。蒸气压曲线显
示了该温度先蒸汽压的最大值。
气体浓度%=气体的分压/气体的总压x100%
气体的分压不能超过饱和蒸气压曲线
温度方式：气体MFC控制的烘烤法，
无需载气温压方式：控制液体流量直接汽化方式。
常温蒸发，用低压差MC3000S控制流量
温度 t/℃ | 饱和蒸气压 (kPa) | 温度 t/℃ | 饱和蒸气压 (kPa) | 温度 t/℃ | 饱和蒸气压 (kPa) |
0 | 0.61129 | 125 | 232.01 | 250 | 3973.6 |
5 | 0.87260 | 130 | 270.02 | 255 | 4320.2 |
10 | 1.2281 | 135 | 312.93 | 260 | 4689.4 |
15 | 1.7056 | 140 | 361.19 | 265 | 5082.3 |
20 | 2.3388 | 145 | 415.29 | 270 | 5499.9 |
25 | 3.1690 | 150 | 475.72 | 275 | 5943.1 |
30 | 4.2455 | 155 | 542.99 | 280 | 6413.2 |
35 | 5.6267 | 160 | 617.66 | 285 | 6911.1 |
40 | 7.3814 | 165 | 700.29 | 290 | 7438.0 |
45 | 9.5898 | 170 | 791.47 | 295 | 7995.2 |
50 | 12.344 | 175 | 891.80 | 300 | 8583.8 |
55 | 15.752 | 180 | 1001.9 | 305 | 9205.1 |
65 | 25.022 | 190 | 1254.2 | 315 | 10551 |
70 | 31.176 | 195 | 1397.6 | 320 | 11279 |
75 | 38.563 | 200 | 1553.6 | 325 | 12046 |
80 | 47.373 | 205 | 1722.9 | 330 | 12852 |
85 | 57.815 | 210 | 1906.2 | 335 | 13701 |
90 | 70.117 | 215 | 2104.2 | 340 | 14594 |
95 | 84.529 | 220 | 2317.8 | 345 | 15533 |
100 | 101.32 | 225 | 2547.9 | 350 | 16521 |
105 | 120.79 | 230 | 2795.1 | 355 | 17561 |
110 | 143.24 | 235 | 3060.4 | 360 | 18655 |
115 | 169.02 | 240 | 3344.7 | 365 | 19809 |
120 | 198.48 | 245 | 3648.8 | 370 | 21030 |