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射频电源 RF Power
射频电bai源(RF generator)是用来产生射频电功率的电源。它的输出一般是正弦波或脉冲,频率有2MHz、13.56MHz、27.12MHz、60MHz等规格,输出功率从几十瓦到几十千瓦,输出阻抗一般是50欧。
它可以用于等离子体发生、感应加热、医疗等多种领域。
射频电源可以用于加热,一般用射频电源进行感应加热需要以下装置:
射频电源、匹配器、感应线圈和加热容器
射频电源根据需要的频率和功率而定,感应线圈一般由镀银铜管制成,绕在加热容器外,匹配器将射频电源的50欧输出阻抗和感应线圈的阻抗相匹配。

真空镀膜

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溅射

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刻蚀

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