无载气汽化器

日本Lintec公司独有技术研发的无载气液体汽化器，可满足特殊工艺的需求，通过扩大热交换面积，实现了最大汽化量5g/min（Teos），具有体积小、易于集成特点，阀门紧邻腔体构造，响应时间提高。‍