关于臭氧O3的精密计量计量

2021-03-10 08:59

半导体、太阳能等行业会用到臭氧O3来做硅片的清洗,但是O3的不稳定性,常常造成流量控制器的损伤。Lintec采用独有质量流量方式的传感技术,其原理利用环境温度传感器(Rt)来测量环境温度。 Ru / Rb流量传感器在Rt传感器测得的环境温度+α温度下加热。相比于传统质量流量传感器,可在更低的温度下实现高精度的流量测量和控制。

由于是在低温下进行高精度的流量测量,从而减少了热损害。这种效果使得可以测量预热高度可热解的诸如臭氧(O3)之类的流体,并减少了质量流量传感器本身的热损伤,从而使其成为长寿命的流量传感器,并且长期内测量精度几乎没有变化时间。

在半导体、太阳能等利用臭氧进行清洗的环节,Lintec的流量控制器的长寿命特点,可减少设备维护时间,实现提高生产效率,