朗缪尔探针系统 Langmuir Probes

(ALP) System™提供了一种测试等离子体参数的关键的基础的诊断工具。

可以对主要的等离子体参数进行实时在线监测：

1、等离子密度；

2、电子温度；

3、离子电流密度；

4、等离子体点位；

5、悬浮电位；

6、电子能量分布函数（EEDF）；